超高真空光学镀膜机——Polycold由来的组成

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本文介绍超高真空光学镀膜机的由来及由来，镀膜机是目前制作真空条件应用最为广泛的设备。其相关组成及各部件：机械泵、增压泵、油扩散泵、冷凝泵、真空测量系统、镀膜监控系统。  镀膜设备作为一种多学科的工作设备带给人类贡献。

在科学技术飞跃的今天，光电技术的发展与应用已经深入到各行各业，其生产必须设备的——真空镀膜机，由最初的复杂化、手动化和只能被应用到军事科研领域，发展到现在的简单化，集成化，智能化，科技化，并且被广泛推行及民用，价格也由之前的几千万一台降到现在的几百万至几十万就可以买到。从而被广泛使用。光电技术的发展必然以真空技术为基础。   

文章主要论述真空镀膜机器的组成结构，镀膜机是集多门学科一体的精密仪器，尤其在机电技术的应用方面，甚为广泛，所以，机电一体化技术是真空技术的基础。镀膜设备的进步与发展也充分体现了机电技术的价值。  

最初人们为了获得真空，做了大量试验，比如最著名的“马德堡半球试验”，人类还发明了抽气泵，用来对密闭的容器进行抽气，以求获得真空，随着人类对真空技术的研究与不断探索，同时也发明了测量真空的诸多方式，时至今日，真空技术已经广泛应用于工业，军事，农业，科研、半导体、显示技术等，真空技术的发展与应用，大大促进了生产力的发展。      现在，人类已经能通过特制的容器获得超高真空，  镀膜机按照其应用领域的不同可以分为电阻蒸发镀膜机、电子枪热蒸发镀膜机、磁控溅射镀膜机、等离子镀膜机、射频镀膜机等，但是他们的结构都一样，以光学镀膜机为例，主要有三大部分组成：真空主体——真空腔，辅助排气系统（包括排气系统、真空测量系统）、蒸发系统（包括坩埚及回转控制系统、电子枪柜）、成膜控制系统。 排气系统采用“扩散泵+机械泵＋罗茨泵＋低温冷阱＋polycold”。最初镀膜机发明的时候是没有polycold,后来随着生产需要，人们需要对真空室要求更高，达到更加极限的真空，从而美国BROOKSpolycold 问世，polycold在真空系统的应用主要有两种：一种作为快速水汽捕集泵快速捕集真空室里的水蒸汽，还有一种作为冷阱，防止油扩散泵油乱溅，以达到洁净的真空环境。

野马